Seminari educativi sulle tecnologie di microfabbricazione

13 Maggio 2024 — 15 Maggio 2024

Fondazione Bruno Kessler, Povo (Trento, Italy)

Via Sommarive 18
Povo (TN) - Italy

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L’Unità di Ricerca Micro Nano Facility organizza tre giorni di seminari sui fondamenti delle tecnologie di microfabbricazione standard.

Questa serie di seminari è pensata per fornire una prima introduzione alle tecnologie disponibili nelle cleanroom del Centro for Sensors and Devices.

I nuovi dottorandi, ricercatori, tecnici e tecnologi sono invitati a partecipare.

Il programma sarà il seguente

13 maggio 2024 (Lunedì)

Sala Consiglio – Piano terra – Edificio Ovest

Mattina:

9:00-9.45 Oxidation and diffusion (A.Picciotto)

10.00-10.45 LPCVD and PECVD deposition (A.Picciotto)

11:00-11:45 Ion Implantation (A.Picciotto)

Pomeriggio:

14:00-14:45 Dry etching (A.Nawaz)

15.00-15:45 Wet etching (A.Nawaz)

14 May 2024 (Tuesday)

Sala Consiglio – Piano terra – Edificio Ovest

Mattina

9:00-9.45 Optical Lithography (A.Cian)

10.00-10.45 Electron Lithography (A.Cian)

11:00-11:45 Ion Lithography (A.Cian)

Pomeriggio

14:00-15.30 Ellipsometry / Scanning Electron microscopy. (A.Samusenko)

15 May 2024 (Wednesday)

Sala 211 – Secondo piano – Edificio Nord

Mattina

9:00-9.45 Metal Sputtering (F.Mattedi)

10.00-10.45 Metals contamination for CMOS-like production line (D.Zanardo)

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